| POLYMERS Vol.60 No.3 |
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特集 推动半导体科技的高分子 |
| 半导体的高集成化和高速化以所谓Moore’s定律两年两倍的规律加速。这些半导体技术的发展，不仅通过了硅晶体管设计的进步，还要归功于各种新型高分子材料具有的重要性能。本特集着眼于下一代半导体元件制作技术中起重要作用的新型高分子材料，介绍了这些材料在此技术领域中的各项应用。
（Editors: 御子柴，关，中川，VACHA） |
| 热门话题 | 115
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| 述评 |
| 期待高分子材料的技术革新 | 渡边久恒 | 117
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| 展望 |
| 显微光刻用光阻剂 | 上田 充 | 118 |
| 超紫外光阻剂（EUV）材料的开发 | 工藤宏人，西久保忠臣 | 122 |
| 高分子嵌段共聚物的Directed Self-Assembly和在光刻技术上的应用 | 吉田博史 | 126 |
| 紫外纳米压印技术 | 广岛 洋 | 130 |
| 词汇 | 134
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| COVER STORY:Topics and Products |
| ArF浸没式光刻胶 | 野崎耕司 | 135 |
| 玻璃光罩和纳米压印模具的开发与在硬盘驱动器中的应用 | 渡边 强，流川 治 | 137 |
| 纳米压印光刻用荧光光阻剂 | 中川 胜 | 139 |
| 电子束光刻胶 | 上野 巧 | 141 |
| 远紫外线光刻胶开发的最新进展 | 古泽孝弘 | 143 |
| 高分子科学与我：个人独白 |
| 尽情享受学会活动的乐趣！ | 岸村显广 | 145 |
| 人际关系中自有研究的宝库 | 黑岩敬太 | 146 |
| 高分子科学最新进展 |
| 非溶剂界面中的聚合物的结构和物性 | 田中敬二，藤井义久 | 148
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